電科裝備下屬紅太陽光電公司自主研制的國內(nèi)首臺疊舟等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備，近日成功發(fā)貨。

 

 

 

作為光伏電池制備的一大重要工序，常規(guī)PECVD鍍膜設(shè)備的市場競爭日趨激烈，主流設(shè)備各方面性能大同小異，急需高產(chǎn)能、低成本、高穩(wěn)定性、高工藝品質(zhì)的新設(shè)備機(jī)型打破市場競爭格局。

 

紅太陽光電基于15年的光伏裝備領(lǐng)域經(jīng)驗，以自研PECVD鍍膜設(shè)備為基礎(chǔ)，對設(shè)備產(chǎn)能、成本、能耗、穩(wěn)定性、工藝可靠性等深研一步，跳出傳統(tǒng)的單管單層舟設(shè)計思路，推出新型大管徑高產(chǎn)能疊舟PECVD鍍膜設(shè)備。

 

據(jù)介紹，該設(shè)備打破市面常規(guī)設(shè)備反應(yīng)室結(jié)構(gòu)，創(chuàng)新采用雙舟疊放設(shè)計，單管載片量大幅提升，反應(yīng)室的空間利用率提升至50%。